在X熒光光譜儀中,X射線管是作為X熒光光譜儀器中激發樣品的光源,X射線熒光光譜作為常規分析手段,始于20世紀50年代初,經歷了50多年的發展,現已經成為物質組成分析的必備方法之一,而在一臺臺式X熒光光譜儀中,X射線管需要以下幾個特點:
(1)提供較大的X射線通量,因此允許采用較大的焦斑和較大的窗口。
(2)要求能連續地工作于較高的功率水平。不僅要求能在高電壓、高電流情況下工作,也能在低電壓、高電流情況下工作,且不同工作狀態的切換在1~5S內完成,并保證穩定。
(3)靶材純度要搞,雜質譜線的強度應小于總強度的1%。為減少X射線的散射和吸收,通常要求靶面拋光成鏡面。
(4)在保證X射線管使用壽命的情況下,窗用材料鈹片應盡可能薄。研究工作表明,厚度為25μm的鈹窗X射線管對波長0.08~2nm的X射線透過率是厚度為75μm鈹窗X射線管的10~100倍,薄窗靶特別使用與長波段X射線熒光的測定。若是用于測定較重元素如金、銀和銅的低分辨率譜儀,所用X射線管管窗材料亦可是硼酸鹽玻璃(如硼酸鋰鈹玻璃)。
(5)提供X?射線的高壓和管電流的高壓電源輸出穩定,波長色散譜儀通常應小于0.001%,能量色散譜儀應在0.1%~0.02%之間。
(6)為滿足多種分析要求,可配備多種靶材供選擇,但端窗靶一般選用銠為陽極材料。