X熒光光譜儀有兩種分別是波長色散型X熒光光譜儀和能量色散型X熒光光譜儀。我們這篇文章說的X熒光光譜儀就是指波長色散的儀器。
1、X熒光光譜儀的優勢
(1) 制樣簡單。基本上都是物理制樣。試樣經過簡單的破碎、研磨成粉末壓片或熔融制成。
(2) 分析范圍廣。理論上從四號元素Be到92號元素鈾均可進行分析。
(3) 測量范圍寬。從0.001%到100%均可進行分析。
X射線熒光原理圖
2、X熒光光譜儀的劣勢
(1) 各公司宣傳X熒光光譜儀的分析范圍從PPM到100%。事實上熒光光譜儀的分析范圍并沒有那么廣，受所分析試樣的基體影響很大。如果分析碳氫化合物中的元素，檢出限可以達到到PPM，如石油中硫S的分析，地質樣品中則只能達到10PPM，而在鉛合金中檢出限要50PPM以上。XRF無法進行純金屬材料分析，因為純金屬材料中各元素的含量均很低。
(2) X熒光光譜儀不能分析不銹鋼中的五害元素。傳統上，不銹鋼生產企業通常用XRF熒光進行過程控制分析，但是目前不銹鋼生產企業就只能用直讀光譜儀來測量微量元素了，因為當今材料要求五害元素的含量比國家標準要低得多。
(3)XRF對標樣的依賴性很強。試樣的顆粒度、組成、結構差異等均會對分析結果產生很大影響。